近十年來，中國平板顯示產業已取得跨越式的發展，行業規模不斷擴大，相關技術也日益成熟。然而，在關鍵材料和設備的應用上，中國平板顯示產業仍然依賴國外企業。幸而，一批國內企業正不余遺力在關鍵材料與設備進行研發，并在很多關鍵領域實現了突破。昨天上午，深圳市清溢光電8.5代TFT掩模版成功下線，打破了國外企業在大尺寸TFT掩模版這一領域的技術壟斷。目前，清溢光電已經成為中國大陸首屈一指的掩模版的提供商。
由深圳清溢光電股份有限公司主辦，華星光電、中國光學光電子行業協會液晶分會、中國電子材料行業協會、深圳市平板顯示行業協會協辦的“2015年大尺寸TFT掩模版自主技術論證會”昨天在清溢光電大廈隆重舉行，國家工信部電子信息司副司長彭紅兵，深圳市發展和改革委員會賴向群處長，中國光學光電子行業協會液晶分會秘書長梁新清，深圳市平板顯示行業協會首席顧問孫政民、秘書長偰正才，清華大學高鴻錦教授、張百哲，天馬微電子總經理劉靜瑜，華星光電副總裁趙勇等政府領導、中國電子技術標準化研究院與行業協會專家、企業代表參加了本次論證會。
本次論證會上，清溢光電總經理朱雪華介紹，自1997年成立以來，清溢光電不斷創新努力，在掩模版領域實現了一個個新突破，特別是2014年9月清溢光電8.5G TFT用CF Mask順利制作下線并出貨給客戶，又一次填補了國內空白，也為公司后續的發展奠定了新的方向和基礎。她表示，清溢光電未來將在政府與下游面板企業的支持下，不斷努力，在掩模版領域取得更多突破，為中國平板顯示產業關鍵材料國產化做出更大的貢獻。
工信部電子信息司副司長彭紅兵
彭紅兵副司長表示，盡管中國平板顯示產業取得了初步的發展成績，但是在關鍵材料和設備上仍然發展滯后，這對產業鏈的安全性造成了很大的影響。他表示，工信部將繼續加大關鍵材料與設備產業配套的支持，貫通產業鏈，為產業的發展提供良好的發展環境。他也希望上下游企業要加強產業鏈聯動，實現關鍵材料的國產化，維護產業鏈的安全性。
賴向群處長表示，清溢光電大尺寸TFT掩模版對中國平板顯示產業的發展意義重大。深圳市未來也將繼續加大對類似清溢光電的產業配套企業的發展，完善平板顯示產業鏈。
清溢光電下游供應商華星光電、龍騰光電企業高層也發表講話。他們希望，清溢光電繼續降低大尺寸掩模版的成本，完善產品的技術指標。同時，他們也表示將繼續支持清溢光電在掩模版領域的國產化應用。
深圳市平板顯示行業協會首席顧問孫政民
在專家論證環節，現場各位專家分別發言，并對清溢光電大尺寸TFT掩模版成功下線發表了看法。其中，深圳市平板顯示行業協會首席顧問孫政民孫政民表示，清溢光電大尺寸TFT掩模版下線令人感到欣喜。他希望，清溢光電繼續加大在掩模版領域的技術與資金投入，不斷實現新技術突破，做世界級的掩模版供應商。
據清溢光電CTO李躍松介紹，TFT用掩模版都是由石英玻璃基板、鉻膜圖形及保護膜(pellicle)構成。石英基板的尺寸從330mm×450mm到1220mm×1400mm，厚度從5mm到13mm。鉻膜厚度為0.1μm，圖形關鍵尺寸在4μm左右，主要技術指標均為亞微米級。雖然從數字看，8.5代和5代掩模版的精度相當，但8.5代TFT掩模版（1220mm×1400mm）面積達到1.7㎡，是第5代TFT掩模版（520mm X800mm）面積的4.1倍，要實現同等技術指標的難度系數要大很多，這在解決CD精度、TP精度、缺陷三大技術指標的過程中都有體現。另外8.5代TFT掩模版重量接近50公斤，“大而重”的特點，對解決玻璃自重變形、生產轉運、凈化包裝、防護等也形成一定的挑戰。通過自主研發，清溢光電已掌握8.5代及以下TFT掩模版的核心技術。目前，清溢光電8.5代TFT掩模版已通過華星光電的測試認證。
清溢光電副總經理陶飛表示公司將在中國TFT掩模版自主化道路上繼續作出努力：第一，在產能上清溢光電將在2015年再投兩臺光刻機及相關的配套設備，以擴充產能，改善交貨能力，提供中國掩模版的自主化率。第二，在產品和技術上，實現G2.5-G8的TFT掩模版全覆蓋，服務好中國大陸的面板客戶；對于LTPS的掩摸版，將配合國內廠家，做好產品開發。
此次，清溢光電8.5代TFT掩模版成功下線，打破了國內8.5代TFT掩模版依賴進口的不利局面，對于促進我國TFT產業鏈的發展、提升產業鏈競爭力具有重要的戰略意義。
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